2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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セッション詳細

一般セッション(口頭講演)8 プラズマエレクトロニクス：8.1 プラズマ生成・診断

[10a-N323-1~11]8.1 プラズマ生成・診断

2025年9月10日(水) 9:00 〜 12:00
N323 (共通講義棟北)
9:00 〜 9:15

[10a-N323-1]矩形振幅変調放電プラズマが電子加熱に与える影響：シミュレーションと実験

〇鎌滝 晋礼1、佐藤 優志1、黒崎 陽晴1、政本 元1、山下 大輔1、奥村 賢直1、板垣 奈穂1、古閑 一憲1、白谷 正治1 (1.九大シス情)
9:15 〜 9:30奨励賞エントリー

[10a-N323-2]補助電極による均一なプラズマの生成

〇鈴木 雄大1、アブラハ ペトロス1 (1.名城大理工)
9:30 〜 9:45

[10a-N323-3]プラズマ中の浮遊微粒子の挙動制御に関する研究

〇王 天翔1、廣 大輔1、井上 雅彦1、田口 俊弘2、小田 靖久1、朴 商云1 (1.摂南大学、2.日本原子力開発研究機構)
9:45 〜 10:00

[10a-N323-4]トモグラフィー発光分光法による減圧酸素ICP の空間分解計測

何 文涛1、清田 哲司2、土居 謙太2、中尾 裕利2、小関 智光2、内記 一宏1、Li Kangbai1、大見 俊一郎1、〇赤塚 洋3,1 (1.科学大工、2.アルバック、3.科学大研究院)
10:00 〜 10:15

[10a-N323-5]低気圧アルゴンプラズマの空間平均分光計測と
局所電子温度・密度との関係

〇福本 晃己1、土居 謙太2、清田 哲司2、山下 雄也1、菊地 航行1、根津 篤1、赤塚 洋1 (1.東京科学大学、2.アルバック)
10:15 〜 10:30奨励賞エントリー

[10a-N323-6]衝突輻射モデルを用いたアルゴン発光分光からの電子エネルギー分布関数の予測

〇(M2)三枝 丈一郎1、Simon Chouteau1、Fatima Arellano1、Marton Gyulai2,3、Zoltan Donko1,2、Peter Hartmann2、Tsanko Tsankov1,4、Uwe Czarnetzki4、浜口 智志1 (1.大阪大工、2.Wigner Research Centre for Physics、3.Eotvos Lorand Univ.、4.Institute for Plasma and Atomic Physics)
10:45 〜 11:00奨励賞エントリー

[10a-N323-7]プラズマ援用有機金属化学気相成長装置で生成した窒素プラズマのN2 second positive systemによる回転温度・振動温度診断

〇山下 雄也1、高橋 言緒1、清水 鉄司1、山田 永1 (1.産総研)
11:00 〜 11:15

[10a-N323-8]基板に入射する高速中性粒子のモンテカルロシミュレーション

〇伝宝 一樹1、松隈 正明1 (1.東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ)
11:15 〜 11:30

[10a-N323-9]機械学習を活用した中性種スペクトルのリアルタイム解析(2)

〇(M2)高橋 康太朗1、安藤 悠介1、堤 隆嘉2、井上 健一2、関根 誠2、石川 健治2 (1.名大、2.名大低温プラズマ科学研究センター)
11:30 〜 11:45奨励賞エントリー

[10a-N323-10]深振動マグネトロンスパッタリングで生成する中性Ti粒子のレーザー誘起蛍光を用いた成膜領域におけるエネルギー分布解析

〇(M2)中川 悠幹1、小林 宏輝1、横山 英佐1,2、西宮 信夫1、實方 真臣1、戸名 正英3、山本 宏晃3、塚本 恵三3、冨宅 喜代一4、大下 慶次郎5、美齊津 文典6 (1.東京工芸大工、2.サレジオ高専、3.（株）アヤボ、4.神戸大、5.北海道教育大、6.東北大院理)
11:45 〜 12:00奨励賞エントリー

[10a-N323-11]アンモニア合成のための窒素/水蒸気誘導結合プラズマへの酸素添加の影響

〇(D)喜多 恭平1、稲垣 慶修1、佐々木 浩一1 (1.北大工)
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