講演情報
[10a-N323-5]低気圧アルゴンプラズマの空間平均分光計測と
局所電子温度・密度との関係
〇福本 晃己1、土居 謙太2、清田 哲司2、山下 雄也1、菊地 航行1、根津 篤1、赤塚 洋1 (1.東京科学大学、2.アルバック)
キーワード：
ICPプラズマ、CRモデル、発光分光計測
本研究では、低気圧アルゴンプラズマに対し、トモグラフィ解析を用いて空間分解分光計測を行い、視線平均法との比較で電子温度・密度の診断精度を検討した。トモグラフィ法は空間非一様性を反映し、特に周辺部で視線平均法が過大評価する傾向が示された。これにより、視線平均法の限界とトモグラフィ解析の有効性が明らかとなった。