講演情報
[10p-N206-5]電界効果トランジスタ型MoOx/グラフェン複合ガスセンサを用いたセンシング特性の電界効果依存性
〇(M1)岡西 音哉1、桂 章皓1、廣瀬 由紀子1、永村 直佳2、小野 尭生3、植村 隆文4、菅原 徹1 (1.京工繊大工、2.NIMS、3.阪大基工、4.阪大産研)
キーワード：
酸化モリブデン、グラフェン、ガスセンサ
高導電性を有するグラフェンと、大きな比表面積を持つ酸化モリブデンを組み合わせた電界効果トランジスタ（FET）型ガスセンサを作製した。各種揮発性有機化合物（VOC）ガス(エタノール、1-プロパノール、2-プロパノール)に対する応答特性における電界効果の依存性を詳細に検討した。センシング結果から電界効果によりFET型ハイブリッドガスセンサの感度を自在に増幅し、VOCガスを識別可能なことが示された。