講演情報
[10p-N221-4]設計Q値3億を越える非対称ヘテロ構造ナノ共振器のQ値ばらつき抑制
〇(M1)金丸 優太1、浅野 卓2、市之瀬 陸人1、高橋 和3 (1.大阪公大院工、2.京大院工、3.岡山大)
キーワード：
シリコンフォトニクス、機械学習、高Q値ナノ共振器
我々はフォトニック結晶ナノ共振器の高Q値化に取り組み実験Q値1100満を達成している．応用には，高Q値化だけでなく，Q値のばらつき抑制が重要である．その主因は作製誤差に起因する空気孔の位置や半径の揺らぎである．この課題に対し，我々は空気孔揺らぎの影響を受けにくい構造として非対称共振器に注目している．今回は設計Q値3億超の非対称ヘテロ構造ナノ共振器を機械学習で設計し，そのばらつき低減効果を検証した．