講演情報
[7p-N321-13]テラヘルツ渦干渉計による凹凸形状サンプルの測定
〇(M2)山口 航平1、時実 悠2、長谷 栄治2、安井 武史2 (1.徳島大院、2.徳島大学pLED)
キーワード:
テラヘルツ波、光渦、干渉計測
光渦干渉計は光渦と共軸型の干渉計を用いて、物体の三次元形状に加え、物体の凹凸情報を測定可能な位相計測である。一方で、光に不透明なサンプルには適用が困難であった。本研究では、透過性の高いテラヘルツ(THz)波を用いたTHz渦干渉計の実現を目的とする。結果としてサンプルの凹凸を反映したらせん干渉縞の測定を実現した。これにより、THz帯で物体の三次元情報及び凹凸情報を簡便なセットアップで取得できる可能性を示した。