講演情報

[7p-P06-11]レーザー誘起前方転写におけるレオロジー特性の効果

〇(M1)小出 照瑛1、爲本 龍汰1、山根 啓作1、折原 宏2、戸田 泰則1、森田 隆二1 (1.北大院工、2.北大電子科学研究所)

キーワード:

レーザー誘起前方転写法、光渦、レオロジー

レーザー誘起前方転写法は、ナノ秒~サブマイクロ秒域にキャビテーションバブルが生じ、時間発展によってジェットを形成してドナー物質を吐出する。そのためパターニングにはバブル形成に関わるレオロジー特性の影響を受ける。そこで、レオロジー特性がジェット及びバブルの時間発展に与える影響を調べた。結果、非ニュートン流体ではバブルの成長が早期に飽和し短いジェットが飛翔すること、また非線形粘性挙動が大きいほど顕著になることが確認された。