講演情報
[7p-S202-1]所望の結晶構造を有する多結晶TiO2薄膜の自律的な合成
〇長谷部 颯汰1、西尾 和記5、相場 諒2、鈴木 陽太3、中山 亮1、簾 智仁1、小林 成1、清水 亮太4、一杉 太郎1,5 (1.東大院理、2.株式会社リガク、3.科学大CFC、4.分子研、5.科学大物質理工)
キーワード：
自動・自律実験、ベイズ最適化、X線回折
機械学習・ロボットを活用した自律実験によって、所望の結晶構造を持つ多結晶TiO₂薄膜を自律的に合成することに成功した。自律実験にあたって、薄膜材料のX線回折(XRD)パターンおよびデータベース上の粉末XRDパターンの相関係数を、評価指標として導入した。この指標を目的変数としてベイズ最適化により合成条件（基板温度）を探索し、ルチル型とアナターゼ型を選択的に合成することに成功した。