2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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10:00 〜 10:15
[8a-N202-3]
ダイヤモンド膜成長用の格子整合するNi
0.5
Cu
0.5
単結晶基板
〇熊谷 毅
1
、安藤 宏孝
1
、田勢 美雪
1
、高橋 和也
1
、鈴木 茂
2
、杉山 和正
3
、福田 承生
1
(1.福田結晶研、2.東北大μSIC、3.東北大金研)
キーワード:
CZ法、結晶成長、ダイヤモンド
ダイヤモンドと格子整合が期待されるNi
0.5
Cu
0.5
単結晶に着目し、CZ法を用いて、φ2″のNi-Cu単結晶インゴットの作成し、 (111)基板を作製し評価を行った。
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