講演情報

[8a-N202-3]ダイヤモンド膜成長用の格子整合するNi0.5Cu0.5単結晶基板

〇熊谷 毅1、安藤 宏孝1、田勢 美雪1、高橋 和也1、鈴木 茂2、杉山 和正3、福田 承生1 (1.福田結晶研、2.東北大μSIC、3.東北大金研)

キーワード:

CZ法、結晶成長、ダイヤモンド

ダイヤモンドと格子整合が期待されるNi0.5Cu0.5単結晶に着目し、CZ法を用いて、φ2″のNi-Cu単結晶インゴットの作成し、 (111)基板を作製し評価を行った。