2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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[8a-P08-3]
TCADを使用したMg
2
Si-pn接合における電流電圧特性シミュレーションによる暗電流評価
〇清水 匠
1
、勝俣 響
1
、坂根 駿也
1
、鵜殿 治彦
1
(1.茨城大工)
キーワード：
マグネシウムシリサイド、シミュレーション、TCAD
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