講演情報
[8p-N406-2]半導体人材育成を目的とした走査型電子顕微鏡を活用する実験プログラムの開発と実証
〇田口 理沙子1、香取 重尊1 (1.津山工業高等専門学校)
キーワード：
半導体、教育、高専
発表者は、走査型電子顕微鏡（SEM）を活用した実験実習プログラムを開発し、電気電子システム系3年生を対象に実施した。
装置の操作をはじめとする実践的なスキルの習得を促進し、半導体分野に関する学習意欲や研究的な視点を育成することを目指した。
本プログラムは，有機半導体薄膜などの試料を使って、観察試料の準備からSEMの操作・観察、データ解析までを一貫して行い、材料特性と表面状態の関連を調べる内容とした。
装置の操作をはじめとする実践的なスキルの習得を促進し、半導体分野に関する学習意欲や研究的な視点を育成することを目指した。
本プログラムは，有機半導体薄膜などの試料を使って、観察試料の準備からSEMの操作・観察、データ解析までを一貫して行い、材料特性と表面状態の関連を調べる内容とした。