講演情報
[8p-P10-18]ＳｂおよびＡｌを添加したＺｎＯ薄膜の結晶構造
〇安達 裕1 (1.NIMS)
キーワード：
極性半導体、極性反転、超格子構造
ZnOへのSbの添加は、バリスタ素子の作製などで行われており、Sbの添加によりZnOの極性が反転した界面が形成されることが報告されている。その界面は、Zn原子で終端されたZn面が向かい合う構造になっている。一方、Alをヘビー・ドープすると、O原子で終端されたO面が向かいあった極性反転界面が形成されることが見出されている。Sbの添加によって生成するZn面が対向した界面と、Al添加によるO面が対向した界面が秩序を持って生成すれば、極性が交互に反転した層状構造が成長する可能性がある。本研究では、SbとAlを添加したZnOをサファイヤ基板上に蒸着することにより、自然超格子を有する薄膜の作製を試みた。