講演情報
[9a-N107-8]量論組成SrLiH3エピタキシャル薄膜の合成
〇(M1)石橋 悠磨1、福士 英里香1、間嶋 拓也2、原田 尚之3、大口 裕之1 (1.芝浦工大理工、2.京大院工、3.物材機構)
キーワード：
金属水素化物薄膜、ペロブスカイト構造、組成
我々はヒドリド伝導材料として注目されるペロブスカイト水素化物SrLiH3のエピタキシャル薄膜合成に成功している。しかし最近になって、この薄膜の平均組成が量論比から大きくずれておりLiを過剰に含んでいることが見つかった。また、成膜初期段階において、基板直上でLiH相が成長していることが分かってきた。本研究では、これらの問題を解決して量論組成SrLiH3エピタキシャル薄膜を得るために成膜手法の改良を行った。