講演情報
[9a-N405-3]自己組織化エレクトレットの表面電位制御に関する検討
〇小嶋 光翔1、森畠 実1、熊谷 龍2、河村 宗真1、細井 覚1、田中 有弥2、山根 大輔1 (1.立命館大、2.群馬大)
キーワード：
自己組織化エレクトレット、表面電位、MEMS
本研究では、自己組織化エレクトレット（SAE）の表面電位を局所的に制御する手法を提案する。Alq₃薄膜をSiO₂基板上に真空蒸着し、光照射後に表面電位を評価した。その結果、光照射を行った領域で明確な表面電位の低下が確認され、非照射領域では電位が保持された。これにより、光照射により空間的に選択的なSAE表面電位制御が可能であることが示された。