講演情報
[9a-P02-18]O2ガス流量を制御したTi-Cu-O層を持つTiO2/(Ti-Cu-O)薄膜の光触媒特性
〇(M1)橋爪 駿亮1、鷹野 一朗2 (1.工学院大院、2.工学院大工)
キーワード：
光触媒、反応性スパッタリング、酸化チタン
近年，私たちの生活環境を支える材料の一つである光触媒の研究が盛んである。その特性として光によって抗菌，脱臭，有害物質の無害化などの効果を発揮することから，環境にやさしい材料として光触媒材料の応用が進められている。本研究室では，TiO2の下層にCuを配置した多層膜の研究を行ってきている。先行研究ではTi-Cu-O混合層を下に持つTiO2/(Ti-Cu-O)薄膜について，混合層作製時におけるO2ガス流量を変化させることで，TiO2単層以上の光触媒効率を得た。本研究では，O2ガス流量についてさらに精密に調査した。