講演情報
[9a-P03-5]高温成膜によって得たa-MnTeの表面構造解析
〇柿本 翔吾1,2、粟津原 奨太1,2、桑原 正史2、沖村 邦雄3、坂井 穣4、片野 諭1 (1.東洋大理工、2.産総研、3.東海大工、4.豊島製作所)
キーワード：
MnTe、相変化材料、X線回折装置
MnTeは外部刺激により、複数の結晶相間で相転移を示す相転移材料として注目される。相転移に伴い、抵抗変化を示すため相変化メモリへの応用が期待される。室温で成膜するとβ相のMnTe（β-MnTe）、加熱するとα相のMnTe（α-MnTe）が得られる。相変化に伴い体積が20%収縮するので、得られるα-MnTe薄膜は不均一になる。高温の基板にMnTeを成膜すると均一なα-MnTe薄膜になることがわかった。本発表では、加熱成膜で得たMnTe薄膜をXRDとSEMで評価した結果を報告する。