[9p-N201-1~14] 6.1 強誘電体薄膜

13:30 〜 13:45

[9p-N201-1] チタン石型Ca(Ti,Zr)SiO₅薄膜の作製と評価

〇倉橋 哲史¹、梶原 輝¹、楊 威嶸¹、谷口 博基²、桑野 太郎¹、小林 能直¹、安井 伸太郎¹ (1.Science Tokyo、2.名大)

キーワード：

反強誘電体、薄膜、強誘電体

近年エネルギー貯蔵用途への応用が期待される反強誘電体のうち、鉛を含まない系であるCaTiSiO₅に注目した。この系はこれまでバルクの報告のみだったが、我々のグループではPLD法を用いてその薄膜化に成功した。中でも、Zr置換のCaTiSiO₅はバルクと比較して2倍以上に比誘電率が増大したほか、tanδ<0.05と低い誘電損失を示した。当日は強誘電性を含めた物性についても報告する予定である。