講演情報
[9p-N402-4]瞳分割偏光顕微鏡の開発
〇吉木 啓介1、筒井 宣匡1,2、池上 浩1 (1.高知工大総研 D-Future、2.高知工大総研株式会社デンケン)
キーワード：
瞳分割偏光イメージング、偏光モード変換器、ナノマシンビジョン
瞳分割偏光計測法を顕微化したマルチスケール計測系を開発した．透過型液晶空間偏光変調器を瞳面に設置し，偏光状態を空間分割して試料を照明することで，表面の微細凹凸に由来する直交偏光を検出する．これにより，広域観察と高解像度顕微観察をシームレスに両立した．金属加工面を用いた実験では，全体構造から微細な表面性状までを高コントラストに可視化し，本手法によるマルチスケール計測の有効性を示した．