[9p-N405-1~18] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

16:15 〜 16:30奨励賞エントリー

[9p-N405-11] PLD法におけるプルーム画像のRGB解析

〇(M2)八谷 達磨¹、中尾 匠冶¹、堀尾 恵一^1,5、一野 裕亮^3,5、一瀬 中^4,5、堀出 朋哉^2,5、松本 要^2,5、吉田 隆^2,5 (1.九工大、2.名大、3.愛工大、4.電中研、5.JST-CREST)

キーワード：

機械学習、プルーム、主成分分析

我々は，PLD法による薄膜生成の再現性向上およびプロセス安定化を目指す．本稿では，ターゲット上に発生するプルームの色と材料やプロセスパラメータとの関係性を考察する．ターゲットの材料として混合比を変えたものを含めて9種類用意し，パラメータは酸素分圧とレーザー強度をそれぞれ3通り変化させ，合計81条件のプルームについて中心から右方向および上方向に45画素のRGB強度を特徴量とする主成分分析を実施した。