2025年第72回応用物理学会春季学術講演会
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薄膜形成加工装置

[E-21] （株）エイコー・エンジニアリング/ （株）エイコー

（株）エイコー・エンジニアリング/ （株）エイコー

TBD

住所101-0044
東京都千代田区鍛冶町2-10-7
TEL03-5297-1031
FAX03-5297-1035
Webサイト・SNS https://www.1974eiko.co.jp/
[E-26] （株）エイチ・ティー・エル

（株）エイチ・ティー・エル

TBD

住所190-0012
東京都立川市曙町2-16-6　テクノビル3階
TEL042-523-2871
Webサイト・SNS http://www.htlco.co.jp/
[E-84] ALDジャパン（株）
Control Atoms!

ALDジャパン（株）

■① Anric Technologies社製原子層堆積(ALD)装置(プラズマ式、熱式)、ALD用オゾン発生装置 ■② Meaglow社製プラズマ生成ユニット ■③ Chipmetrics社製高アスペクト比確認用テストチップ

住所183-0056
東京都府中市寿町1-3-10-401
TEL042-360-3152
FAX042-633-0916
Webサイト・SNS https://aldjapan.com/
[E-27] （株）SDI
より安全・安心なディップコーターに

（株）SDI

TBD

住所600-8815
京都府京都市下京区中堂寺粟田町93　京都リサーチパーク6号館 417号
TEL075-323-0236
FAX075-323-0237
Webサイト・SNS https://www.sdicompany.com/
[E-33] （株）エピクエスト

（株）エピクエスト

■MBE装置 ■MOCVD装置 ■小型電気管状炉 ■アニール装置 ■VCSEL用酸化装置 ■各種Kセル ■KOHエッチング装置

住所601-8142
京都府京都市南区上鳥羽中河原町78
TEL075-693-3356
Webサイト・SNS https://www.epiquest.co.jp
[E-36] ケニックス（株）
まいどおおきに　よろしゅうに　(*^^*)

ケニックス（株）

■【実機展示】圧力勾配式スパッタ装置 ■プラズマクラッキングセル ■PGSスパッタカソード、その他

住所670-0935
兵庫県姫路市北条口2-15　小山ビル501
TEL079-283-3150
FAX079-280-3002
Webサイト・SNS http://www.kenix.jp/
[E-34] 産総研ナノプロセシング施設
共用施設で微細加工・分析評価！

産総研ナノプロセシング施設

TBD

住所305-8568
茨城県つくば市梅園1-1-1　つくば中央事業所2群
TEL029-862-6716
Webサイト・SNS https://www.tia-kyoyo.jp/page/dir000004.html
[E-31] サンユー電子（株）

サンユー電子（株）

■ディスクトップRFスパッタ装置 SVC－700RFIII ■DESK TOP QUICK COATER 小型スパッタ装置SCシリーズ ■卓上型真空蒸着装置 SVCシリーズ

住所169-0073
東京都新宿区百人町1-22-6
TEL03-3363-3551
FAX03-3364-2892
Webサイト・SNS https://www.sanyu-electron.co.jp/
[E-24] （株）信光社

（株）信光社

■薄膜成膜用基板 ■酸化物単結晶製品

住所247-0007
神奈川県横浜市栄区小菅ケ谷2-4-1
TEL045-892-4739
FAX045-892-2986
Webサイト・SNS https://www.shinkosha.com/
[E-32] （株）菅製作所
新しい価値を協働で創造します

（株）菅製作所

■小型で使いやすいALD装置「SAL1000デスクトップALD装置」

住所049-0101
北海道北斗市追分3-2-2
TEL050-3734-0730
FAX0138-49-8661
Webサイト・SNS https://agus.co.jp/
[E-109] （株）スプリード

（株）スプリード

■ゲートバルブ ■アングルバルブ ■チャンバー ■真空コンポーネント

住所206-0801
東京都稲城市大丸422-1
TEL042-379-4655
FAX042-379-4656
Webサイト・SNS https://www.splead.jp/
[E-23] TNSシステムズ（同）

TNSシステムズ（同）

■YAGレーザー薄膜加工システム ■ワイヤーボンダ― ■ダイボンダ― ■電気計測関連装置および部品 ■小型真空装着装置 ■各種特注装置

住所271-0077
千葉県松戸市根本14-2-707
TEL047-703-1500
Webサイト・SNS http://tns-systems.jp/
[E-50] テガサイエンス（株）
自由自在に構成を変更できる真空装置です！

テガサイエンス（株）

■多目的真空成膜装置『HEXシステム』 ■ナノ粒子ソース『NanoStreamシリーズ』 ■RFアトムソース『TASシリーズ』

住所277-0832
千葉県柏市北柏3-5-4
TEL04-7168-5311
Webサイト・SNS https://www.tegascience.co.jp/
[E-30] （株）ハイテック・システムズ

（株）ハイテック・システムズ

■Annealsys社製 高速熱処理(RTP)装置 ■NEOCERA社製 パルスレーザー蒸着(PLD)装置 ■Plasmionique社製 熱蒸着・成膜装置 ■Veeco社製 原子層堆積(ALD)装置

住所220-0011
神奈川県横浜市西区高島1-1-2　三井横浜ビルディング19階
TEL045-36-9780
Webサイト・SNS https://www.hightec-sys.com/
[E-23] （株）プリウェイズ
装置の製作からサンプルの試作まで

（株）プリウェイズ

■高精細印刷装置 ■卓上コーター

住所305-0044
茨城県つくば市並木1-1　物質・材料研究機構
TEL029-860-4918
Webサイト・SNS http://priways.co.jp/
[E-28] BENEQ（株）
フィンランド発ALD装置プロバイダー

BENEQ（株）

【Beneq TFSシリーズ】 ■Beneq TFS200： Beneq TFS200 ALD (Atomic Layer Deposition)装置は、世界で160台を超える納入実績があり、研究開発分野で最も使用されるプラットフォームの一つとして知られています。 ■Beneq TFS 500: TFS200同様の柔軟なオプション装備を持ち、研究開発から少量バッチ式生産に対応する装置です。

住所222-0033
神奈川県横浜市西区みなとみらい4-4-2　横浜ブルーアベニュー12階
TEL045-274-5273
Webサイト・SNS https://beneq.com/jp/
[E-29] （株）マイクロジェット
ペロブスカイト太陽電池試作用の塗布装置

（株）マイクロジェット

■ペロブスカイト太陽電池試作用インクジェット塗布装置

住所399-0732
長野県塩尻市大門五番町79-2
TEL0263-51-1734
Webサイト・SNS https://www.microjet.co.jp/