[D08-14p-VI] 表面改質

16:00 〜 16:15

[D08-14p-VI-05] エキシマレーザーアニールによるamorphous-ITO薄膜の結晶化における蓄熱の効果

*片山 慶太^1,2、植月 信之介¹、劉 一帆¹、佐藤 舞起¹、郭 冬阳¹、薮田 久人^1,2 (1. 九州大学システム情報科学研究院、2. 九州大学ギガフォトンNextGLP共同研究部門)