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[GS02-4-03]Siマイクロピラー構造を用いた薄型ループヒートパイプの研究

〇Ai Ueno1, Ryobu Nomura1, Masaaki Hashimoto2, Abdulkareem Alasli1, Hosei Nagano1 (1. Nagoya University, 2. Keio University)

Keywords:

マイクロピラー,ループヒートパイプ,毛細管力,MEMS,Si