講演情報

[P1-2vn-33]ポリマーベシクルを用いるクラックリソグラフィー

○川端 洋平1、佐座 裕也、金 仁華1 (1. 神奈川大学)

キーワード:

ブロック共重合体、高分子ベシクル、亀裂構造、導電性薄膜、亀裂微細加工法