[CI-2] インフォマティクス技術の半導体デバイス・プロセス応用

14:50 〜 15:20

[CI-2-03] SiCバルク結晶製造技術の革新に向けたプロセスインフォマティクス技術の研究

○土田 秀一¹、宇治原 徹²、原田 俊太²、沓掛 健太朗³、村山 健太⁴、高石 将揮⁵ (1. 電力中央研究所、2. 名古屋大学、3. 理化学研究所、4. マイポックス、5. アイクリスタル)

キーワード：

炭化ケイ素、結晶成長、プロセスインフォマティクス、人工知能、データ同化