[G] スピントロニクス・ナノ磁性材料

12:10 〜 12:25

[59] X線小角散乱法によるCo-NdF3ナノ複相膜の立体構造の検討

*長谷川 琢斗¹、青木 英恵²、増本 博²、河田 篤哉²、大沼 正人¹ (1. 北海道大、2. 東北大)

キーワード：

ナノ複相膜、小角散乱、ファラデー効果、薄膜材料、磁性材料

スパッタ時の回転速度により磁性粒子の分散状態に膜厚方向異方性を付与させたナノ複相膜の立体構造をX線小角散乱法によって解析した。膜厚方向の異方性に対応するために試料を入射X線に対して傾斜する手法を試みた。