講演情報

[19a-A202-4]Si 基板上の h-BN ナノシート合成に向けた下地基板及び CVD 条件の検討

〇(M1)岡本 朋大1、岡部 稔也1、渡辺 健太郎1,2 (1.信州大、2.信州大IFES)

キーワード:

窒化ホウ素,化学気相成長法