2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
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講演情報

11:30 〜 11:45

[19a-A301-10]エキシマレーザードーピングによる超高濃度p+n接合の形成

〇青木 蓮1、片山 慶太1、中村 大輔1、薮田 久人1、池上 浩1、佐道 泰造1 (1.九大システム情報)
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キーワード：

半導体

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