講演情報

9:45 〜 10:00

[19a-A301-4]トリメチルアルミニウムとビニルシランを用いたp型a-SiC薄膜形成

〇土射津佑起¹、小野浩毅²、上原賢一³、安原重雄³、竹内和歌奈¹ (1.愛知工大、2.名大院工、3.Japan advanced chemicals Ltd.)

シリコンカーバイド,ビニルシラン