講演情報

10:30 〜 10:45

[19a-A301-6]Si薄膜のレーザ結晶化における線状Agglomeration (II)

〇佐々木伸夫^1,2、高山智之²、笹井陸杜²、浦岡行治² (1.Sasaki Consulting、2.奈良先端大)

cwレーザ結晶化,TFT,凝集

CWレーザでアモルファスSiを結晶化すると、最適条件より高いレーザパワーで、偶発的に線状のagglomerationが発生することがある。この発生の様子を高速動画カメラで、In-Situ観察した。