[19a-A601-1~9] 7.1 X線技術

9:00 〜 9:15

[19a-A601-1] 2～4 keV 領域高回折効率高分解能軟X 線ラミナー型多層膜回折格子の設計(III)

〇小池 雅人^1,2,3、羽多野 忠²、ピロジコフ アレキサンダー¹、上野 良弘⁴、寺内 正己² (1.量研量子技術基盤、2.東北大多元研、3.大阪公大院工、4.島津製作所基盤研)

キーワード：

回折格子,多層膜,軟X線

2～4 keV（波長 0.3 nm～0.6 nm）のエネルギー領域において平均して高い回折効率と分解能を持つ軟Ｘ線回折格子の開発を行っている。今回は、2400から4200 本/mmまでの有効刻線密度を仮定して、軟 X 線高分散平面結像型分光器に搭載するスーパーミラー構造を基本とした多層膜を積層した軟 X 線不等間隔溝球面回折格子を設計し、分解能と回折効率を数値計算で評価したので報告する。