2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
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一般セッション(口頭講演)7 ビーム応用：7.1 X線技術

[19a-A601-1~9]7.1 X線技術

2023年9月19日(火) 9:00 〜 11:30
A601 (熊本城ホール)
石野 雅彦(量研機構)
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9:00 〜 9:15

[19a-A601-1]2～4 keV 領域高回折効率高分解能軟X 線ラミナー型多層膜回折格子の設計(III)

〇小池 雅人1,2,3、羽多野 忠2、ピロジコフ アレキサンダー1、上野 良弘4、寺内 正己2 (1.量研量子技術基盤、2.東北大多元研、3.大阪公大院工、4.島津製作所基盤研)
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9:15 〜 9:30

[19a-A601-2]EUV高次高調波から単一高調波を取り出すための狭帯域多層膜ミラーの開発

〇岩本 佑耶1、廖 雪兒1、増子 拓紀2、市丸 智2、畑山 雅俊2、Eric Gullikson4、水野 智也3、栗原 貴之3、板谷 治郎3、竹中 久貴1 (1.トヤマ、2.NTTアドバンステクノロジ、3.東大物性研、4.LBNL)
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9:30 〜 9:45

[19a-A601-3]４面斜入射多層膜ミラーによるaplanatic対物系の検討

〇豊田 光紀1、陳 軍1 (1.東京工芸大工)
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9:45 〜 10:00奨励賞エントリー英語発表

[19a-A601-4]Emission spectroscopy of hydrogen plasma produced by extreme ultraviolet light for nanolithography applications

〇(P)James Edward Hernandez1, Nozomi Tanaka1, (M1)Ryuya Yamada1, (D)Yubo Wang1, Katsunobu Nishihara1, Shinsuke Fujioka1, Atsushi Sunahara1,2, Tomoyuki Johzaki1,3, Kyung Sik Kang4, Youngduk Suh4, Jeong-Gil Kim4, Shinji Ueyama5, Ken Ozawa5 (1.ILE Osaka Univ., 2.Purdue Univ., 3.Hiroshima Univ., 4.MRSamsung El.Co.Ltd., 5.Samsung Japan Corp.)
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10:15 〜 10:30

[19a-A601-5]EUV光源コレクタミラーの長寿命化に向けたSnイオンエネルギー計測とターゲット密度分布の推定

〇本田 能之1、永井 伸治1、筧田 知慶1、細田 裕計1、新沼 大登2、久米 真樹2、森田 大樹2、東口 武史2 (1.ギガフォトン株式会社、2.宇都宮大学)
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10:30 〜 10:45

[19a-A601-6]固体レーザー生成Gdプラズマbeyond-EUV光源放射特性

〇久米 真樹1、新沼 大登1、杉浦 使1、東原 望1、矢澤 隼斗1、森田 大樹1、東口 武史1 (1.宇都宮大学)
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10:45 〜 11:00

[19a-A601-7]レーザー生成Gdプラズマから放出される高速イオンの角度依存性

〇新沼 大登1、久米 真樹1、杉浦 使1、矢澤 隼人1、森田 大樹1、東口 武史1 (1.宇都宮大学)
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11:00 〜 11:15

[19a-A601-8]サブナノ秒レーザー照射による電荷分離Gdイオンエネルギースペクトル

〇森田 大樹1、新沼 大登1、久米 真樹1、杉浦 使1、東口 武史1 (1.宇大工)
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11:15 〜 11:30

[19a-A601-9]EUV光源の高効率化

〇東口 武史1、森田 大樹1、難波 慎一2、富田 健太郎3、砂原 淳4 (1.宇都宮大学、2.広島大学、3.北海道大学、4.Purdue Univ.)
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