[19a-A601-1~9] 7.1 X線技術

9:15 〜 9:30

[19a-A601-2] EUV高次高調波から単一高調波を取り出すための狭帯域多層膜ミラーの開発

〇岩本 佑耶¹、廖 雪兒¹、増子 拓紀²、市丸 智²、畑山 雅俊²、Eric Gullikson⁴、水野 智也³、栗原 貴之³、板谷 治郎³、竹中 久貴¹ (1.トヤマ、2.NTTアドバンステクノロジ、3.東大物性研、4.LBNL)

キーワード：

EUV,多層膜,高次高調波

高次高調波から単一高調波を取り出すための狭帯域多層膜ミラーとしてY/AlSi多層膜ミラーを開発した。Y/AlSiの反射率ピークは43%＠64eV（半値全幅1.7eV）であった。これまでに同様の目的で開発されたZr/AlSi多層膜ミラーと比較し、選択した高調波63.8eV（基本波1030nmの53次）の反射率が少し低下するものの、隣接高調波を効果的に抑制できる事が分かった。