講演情報
[19a-A601-9]EUV光源の高効率化
〇東口 武史1、森田 大樹1、難波 慎一2、富田 健太郎3、砂原 淳4 (1.宇都宮大学、2.広島大学、3.北海道大学、4.Purdue Univ.)
キーワード：
EUV光源,変換効率
稼働している露光機1台あたりの消費電力は1.3 MW級である．露光機の消費電力を大きく占めているのがCO2レーザーの消費電力である．現在，露光機1台あたりの消費電力を下げられる見込みは立っていない．そこで，われわれは，(1) CO2レーザー生成プラズマEUV光源が与えうる最大変換効率，(2) 中赤外域の固体レーザー生成プラズマEUV光源の変換効率のレーザー波長依存性の2つを検討した．本発表では，CO2レーザー生成プラズマEUV光源が与えうる最大変換効率と波長が2 µmレーザーを用いてさらにEUV変換効率を向上する手法について報告する予定である．