[19a-B201-1~9] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

9:00 〜 9:15

[19a-B201-1] 双晶ネットワークを用いた多結晶シリコンにおける 転位クラスター発生挙動の解析

〇(M1)鳥居 和馬¹、小島 拓人^2,4、沓掛 健太朗³、工藤 博章²、宇佐美 徳隆¹ (1.名大院工、2.名大院情報、3.理研 AIP、4.産総研)

キーワード：

多結晶シリコン,転位クラスター,双晶