[19a-B201-1~9] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥 | 2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)15 結晶工学：15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[19a-B201-1~9]15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

2023年9月19日(火) 9:00 〜 11:30

B201 (市民会館)

鈴木秀俊(宮崎大)、小島拓人(名大)、神山栄治(GWJ)

9:00 〜 9:15

[19a-B201-1]双晶ネットワークを用いた多結晶シリコンにおける転位クラスター発生挙動の解析

〇(M1)鳥居和馬¹、小島拓人^2,4、沓掛健太朗³、工藤博章²、宇佐美徳隆¹ (1.名大院工、2.名大院情報、3.理研 AIP、4.産総研)

9:15 〜 9:30

[19a-B201-2]垂直ブリッジマン成長時における高指数面成長 Ga₂O₃の転位密度解析

〇柿本浩一¹、高橋勲¹、富田健稔¹、鎌田圭^1,2、Vladimir Kochurikhin²、中野智³、姚永昭⁴、石川由加里⁴、吉川彰^1,2,5 (1.東北大 NICHe、2.(株)C＆A、3.九大応力研、4.ファインセラミックスセンター、5.東北大金研)

9:30 〜 9:45

[19a-B201-3]スカルメルテイング法による CZ-Ga₂O₃単結晶成長時の流動解析

〇柿本浩一¹、高橋勲²、富田健稔¹、Vladimir Kochurikhin¹、鎌田圭^1,2、中野智³、吉川彰^1,2,4 (1.東北大 NICHe、2.(株)C＆A、3.九大応力研、4.東北大金研)

9:45 〜 10:00

[19a-B201-4]MoO₃-II相の高圧下熱処理による格子定数変化

〇寺沢大地¹、趙家銘¹、末松久幸¹、Thi Mai Dung¹、中山忠親¹ (1.長岡技科大工学研究科)

10:15 〜 10:30

[19a-B201-5]Siウェーハの熱酸化SiO₂膜のα-Quartz‐β-Cristobalite「合金」モデル

〇神山栄治^1,2、末岡浩治² (1.グローバルウェーハズ・ジャパン㈱、2.岡山県立大情報工)

10:30 〜 10:45

[19a-B201-6]部分的最小二乗法によるシリコン結晶構造の全エネルギー予測モデル

〇野田祐輔¹、神山栄治^1,2、岩城浩也²、末岡浩治¹ (1.岡山県立大情報工、2.グローバルウェーハズ・ジャパン(株))

10:45 〜 11:00

[19a-B201-7]Si中の真性点欠陥の相互作用に関するANNポテンシャル開発

〇山中一希¹、神山栄治³、横井達也²、野田祐輔³、末岡浩治³ (1.岡山県大院情報系工、2.名大工、3.岡山県大情報工)

11:00 〜 11:15

[19a-B201-8]超高濃度PドープCz-Si結晶成長における欠陥挙動に関する実験的研究

〇宝来正隆¹、鳴嶋康人²、古賀孝太郎²、鳥越和尚¹、堀江浩¹、小野敏昭¹、野中直哉¹、末岡浩治³ (1.（株）SUMCO、2.（株）SUMCO TECHXIV、3.岡山県大情報工)

11:15 〜 11:30

[19a-B201-9]超高濃度PドープCZ-Si結晶成長における特異な欠陥挙動に関する第一原理解析

〇末岡浩治¹、鳴嶋康人²、古賀孝太郎²、鳥越和尚³、堀江浩³、小野敏昭³、野中直哉³、宝来正隆³ (1.岡山県立大情報工、2.SUMCO TECHXIV株式会社、3.株式会社SUMCO)

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