2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
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一般セッション(口頭講演)15 結晶工学：15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[19a-B201-1~9]15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

2023年9月19日(火) 9:00 〜 11:30
B201 (市民会館)
鈴木 秀俊(宮崎大)、 小島 拓人(名大)、 神山 栄治(GWJ)
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9:00 〜 9:15

[19a-B201-1]双晶ネットワークを用いた多結晶シリコンにおける 転位クラスター発生挙動の解析

〇(M1)鳥居 和馬1、小島 拓人2,4、沓掛 健太朗3、工藤 博章2、宇佐美 徳隆1 (1.名大院工、2.名大院情報、3.理研 AIP、4.産総研)
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9:15 〜 9:30

[19a-B201-2]垂直ブリッジマン成長時における高指数面成長 Ga2O3の転位密度解析

〇柿本 浩一1、高橋 勲1、富田 健稔1、鎌田 圭1,2、Vladimir Kochurikhin2、中野 智3、姚 永昭4、石川 由加里4、吉川 彰1,2,5 (1.東北大 NICHe、2.(株)C＆A、3.九大応力研、4.ファインセラミックスセンター、5.東北大金研)
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9:30 〜 9:45

[19a-B201-3]スカルメルテイング法による CZ-Ga2O3単結晶成長時の流動解析

〇柿本 浩一1、高橋 勲2、富田 健稔1、Vladimir Kochurikhin1、鎌田 圭1,2、中野 智3、吉川 彰1,2,4 (1.東北大 NICHe、2.(株)C＆A、3.九大応力研、4.東北大金研)
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9:45 〜 10:00

[19a-B201-4]MoO₃-II相の高圧下熱処理による格子定数変化

〇寺沢 大地1、趙 家銘1、末松 久幸1、Thi Mai Dung1、中山 忠親1 (1.長岡技科大工学研究科)
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10:15 〜 10:30

[19a-B201-5]Siウェーハの熱酸化SiO2膜のα-Quartz‐β-Cristobalite「合金」モデル

〇神山 栄治1,2、末岡 浩治2 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン㈱、2.岡山県立大情報工)
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10:30 〜 10:45

[19a-B201-6]部分的最小二乗法によるシリコン結晶構造の全エネルギー予測モデル

〇野田 祐輔1、神山 栄治1,2、岩城 浩也2、末岡 浩治1 (1.岡山県立大情報工、2.グローバルウェーハズ・ジャパン(株))
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10:45 〜 11:00

[19a-B201-7]Si中の真性点欠陥の相互作用に関するANNポテンシャル開発

〇山中 一希1、神山 栄治3、横井 達也2、野田 祐輔3、末岡 浩治3 (1.岡山県大院情報系工、2.名大工、3.岡山県大情報工)
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11:00 〜 11:15

[19a-B201-8]超高濃度PドープCz-Si結晶成長における欠陥挙動に関する実験的研究

〇宝来 正隆1、鳴嶋 康人2、古賀 孝太郎2、鳥越 和尚1、堀江 浩1、小野 敏昭1、野中 直哉1、末岡 浩治3 (1.（株）SUMCO、2.（株）SUMCO TECHXIV、3.岡山県大情報工)
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11:15 〜 11:30

[19a-B201-9]超高濃度PドープCZ-Si結晶成長における特異な欠陥挙動に関する第一原理解析

〇末岡 浩治1、鳴嶋 康人2、古賀 孝太郎2、鳥越 和尚3、堀江 浩3、小野 敏昭3、野中 直哉3、宝来 正隆3 (1.岡山県立大情報工、2.SUMCO TECHXIV株式会社、3.株式会社SUMCO)
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