講演情報

17:15 〜 17:30

[19p-A202-13]WS₂膜の硫黄雰囲気中アニールにおけるスパッタ温度依存性

〇(B)伊東壮真¹、今井慎也¹、松永尚樹¹、黒原啓太¹、若林整¹ (1.東工大)

半導体,遷移金属ダイカルコゲナイド,スパッタリング

スパッタ温度の異なるWS₂膜を成膜し硫黄雰囲気中アニール前後での結晶性を測定することにより、WS₂膜の硫黄雰囲気中アニールにおけるスパッタ温度依存性の調査を行った。