講演情報
[19p-A202-9]有機金属気相成長法におけるInxSeyの結晶相変化メカニズム
〇遠藤 由大1、関根 佳明1、谷保 芳孝1 (1.NTT物性研)
キーワード：
III-VI族半導体,有機金属気相成長法,インジウムセレナイド
有機金属気相成長法によるInxSeyの結晶相制御した薄膜成長技術を確立し、結晶相図としてまとめた。結晶相は熱的安定性を反映し、成長温度の増加に伴いInSeからβ-In2Se3、γ-In2Se3へ変化した。また、これらの相変化温度はSe/In原料比に依存して変化した。解析の結果、InSeからβ-In2Se3への結晶相変化がSe原料の分解反応過程に依存した組成変化として説明できることを明らかにした。