講演情報

[19p-A302-1]トップゲート型In-Ga-Zn-O薄膜トランジスタの光劣化メカニズム分析

〇武田 悠二郎1、高橋 崇典1、宮永 良子1、ベルムンド ファンパオロ1、浦岡 行治1 (1.奈良先端科学技術大学)

キーワード:

酸化物半導体,薄膜トランジスタ