[19p-A302-1~16] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

15:30 〜 15:45

[19p-A302-10] 溶液プロセスで作製したLaドープIn₂O₃薄膜トランジスタのCO₂ガス感度ドーパント濃度依存

〇(M1)小林 亮太¹、野寺 歩夢¹、相川 慎也¹ (1.工学院大)

キーワード：

CO2センサー,酸化インジウム薄膜トランジスタ,ランタン