講演情報
[19p-B201-6]シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学 第二世代 (22)窒素複合体の振動子強度
〇井上 直久1、川又 修一1、奥田 修一1 (1.大阪府大 放射線研究センター)
キーワード：
シリコン結晶,窒素,赤外吸収
シリコン結晶中の真正点欠陥と軽元素不純物の複合体の熱処理や照射による挙動を、第二世代赤外吸収法を開発しながら研究している。即ち全ての種類の複合体を低濃度まで測定し、振動子強度を求めて吸収係数でなく濃度を求め、全ての反応を明らかにすることを目標にしている。欠陥制御に役立てるためである。窒素複合体について振動子強度を「複合体総和一定」則を用いて求めた。ネット上のデータベースで公開する。