講演情報

[19p-D902-14]低環境負荷溶媒を用いた静電スプレー堆積法による
有機強誘電体トランジスタの作製

〇重森 海里1、小林 雅季1、佐野 哲平1、小野島 紀夫1 (1.山梨大)

キーワード:

有機強誘電体トランジスタ,静電スプレー堆積法,不揮発性メモリ

近年,有機エレクトロニクスの発展に向けて,優れた電気的特性をもつ可溶性分子材料の開発が盛んにおこなわれている.しかし,一般的な溶液プロセスでは溶解度は高いが毒性の強いハロゲン化芳香族が用いられている.そこで今回,強誘電体ポリマー上に環境にやさしい溶媒のみを用いて静電スプレー堆積法によりTIPS pentacene/PMMAブレンド膜を堆積し,有機強誘電体トランジスタを作製した.その結果,優れたメモリ特性を得られたので報告する.