講演情報
[19p-D902-7]水蒸気プラズマ補助接合を用いた超薄型高分子薄膜上の銀配線の直接導電接合
〇(M2)三宅 立馬1,2、高桑 聖仁2,3、福田 憲二郎2、梅津 信二郎1、染谷 隆夫2,3 (1.早稲田、2.理研、3.東大工)
キーワード：
柔軟導電接合,銀,フレキシブルエレクトロニクス
柔軟で伸縮性のあるフレキシブル・ストレッチャブルエレクトロニクスにおいて、デバイス間の接合部の応力集中が課題となっている。我々は、水蒸気プラズマによる表面活性化接合により、薄膜上の銀電極を大気中で柔軟性を損わずに導電接合することに成功した。本研究では、水蒸気プラズマ中のチャンバ内の状態と接合・非接合の関係性を調べた結果、発生するOHラジカルとOラジカルの割合が約30％以下で接合することが確認された。