[19p-P01-1~75] 17 ナノカーボン・二次元材料（ポスター）

[19p-P01-68] フッ酸蒸気中でのMoS₂ナノシート援用シリコンエッチング

〇山本 快知¹、宇都宮 徹¹、一井 崇¹、杉村 博之¹ (1.京大院工)

キーワード：

シリコン,二硫化モリブデン,アシストエッチング