講演情報

11:00 〜 11:15

[20a-A301-8]ミニマルファブにおける各種リソースのスケールダウン効果の評価

〇藤田龍哉¹、谷島孝²、根本一正³、居村史人¹、原史朗^1,2,3 (1.㈱Hundred Semiconductors、2.ミニマルファブ推進機構、3.産総研)

ミニマルファブ