[20a-A302-1~10] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

9:00 〜 9:15

[20a-A302-1] MgとZnターゲットを使用した反応性同時スパッタリングによるMg_0.57Zn_0.43O薄膜の成膜と圧電素子の作製

〇遠藤 治之¹、二瓶 貴之¹、目黒 和幸¹、柏葉 安兵衛² (1.岩手県工技センタ、2.岩手大)

キーワード：

酸化亜鉛,圧電素子,共振・反共振特性

我々は燃焼圧センサへの応用を目的とし高温用ZnO圧力センサ開発を進めてきたが、250°C以上では素子インピーダンス低下の問題がある。そこでMg_xZn_1-xO薄膜が高抵抗率で且つ圧電性を有することに着目し、Mg_xZn_1-xO/ZnO構造圧電素子の研究を進めている。本発表では、Mg_xZn_1-xO薄膜をスパッタ法で積層した素子の直流抵抗と共振・反共振法によるインピーダンスの温度特性について報告する。