[20a-A302-1~10] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

11:15 〜 11:30

[20a-A302-9] アナターゼ型TiO₂透明導電膜の局所構造解析

〇簾 智仁¹、上田 礼一¹、清水 亮太^1,2、中山 亮¹、山田 直臣³、一杉 太郎^1,2 (1.東大院理、2.東工大物質理工、3.中部大)

キーワード：

酸化チタン,X線吸収微細構造 (XAFS),格子間酸素