[20a-A304-1~11] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

9:45 〜 10:00

[20a-A304-4] Siナノシート電界効果トランジスタにおける電子速度オーバーシュートに与える量子閉じ込めの影響

〇服部 淳一¹、福田 浩一¹、池上 努¹、林 喜宏¹ (1.産総研)

キーワード：

ナノシート,量子効果,TCAD