[20a-A304-1~11] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

10:30 〜 10:45

[20a-A304-6] Al拡散によるメタルゲートスタック構造のしきい値電圧最適化

〇大村 祐弥¹、青田 正司¹、和田 智也¹、船迫 友之¹、安田 かすみ¹、渡邉 大輔¹、岡本 浩樹¹、伊藤 勇¹、小山 正人¹ (1.キオクシア)

キーワード：

メタルゲート