講演情報

[20a-B101-10]Naフラックス法におけるFFC技術を用いた半極性(20-21)面GaN結晶の平坦化

〇北野 春来1、今西 正幸1、濱田 和真1、Tandryo Ricksen1、村上 航介1、宇佐美 茂佳1、丸山 美帆子1、吉村 政志1,2、森 勇介1 (1.阪大院工、2.阪大レーザー研)

キーワード:

窒化ガリウム,半極性面