講演情報
[20a-B101-7][分科内招待講演] OVPE法を用いたGaNのエピタキシャル成長とパワーデバイス応用
〇宇佐美 茂佳1、東山 律子1、滝野 淳一2、太田 博3、渡邉 浩崇4、今西 正幸1、隅 智亮2、岡山 芳央2、三島 友義3、新田 州吾4、本田 善央4、吉村 政志5、秦 雅彦6、伊勢村 雅士7、天野 浩4、森 勇介1 (1.阪大院工、2.パナソニックホールディングス(株)、3.法政大学、4.名大未来研、5.阪大レーザー研、6.伊藤忠プラスチックス（株）、7.（株）創晶應心)
キーワード：
OVPE法,高速成長,窒化ガリウム