[20a-P01-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

[20a-P01-12] 連続的な圧力負荷がおよぼす非晶質炭素薄膜の物性変化

〇(M1)中川 颯太¹、杉原 輔扇¹、小野澤 博文¹、五十嵐 唯斗¹、小畑 修二¹、平栗 健二¹、大越 康晴¹ (1.電機大)

キーワード：

ダイヤモンドライクカーボン